150TES Plus为紧凑的分子涡轮泵镀膜系统,适合SEM、TEM及许多镀膜应用
新款改进
● 触摸屏更换成便于操作的电容触摸屏
● 固件更新,新版操作界面类似安卓系统,便于客户上手
● 新的彩色LED可视状态指示灯
● 双核ARM处理器,可快速响应
● USB接口可以用于固件更新,并可将镀膜方案文件备份/复制到USB存储设备
● 可以通过USB端口以.csv格式导出过程日志文件,以便统计分析
主要特点:
● 金属溅射或碳蒸发一体化设计,节省空间
● 适合FE-SEM制样的精细镀膜和薄膜应用
● 涡轮分子泵高真空系统,适合不氧化贵金属和易氧化其它金属靶材
● 全自动触摸屏控制,快速数据输入,操作简单
● 可储存多个客户自定义镀膜方案:对多用户实验室十分理想
● 预编程自动真空控制
● 使用膜厚监控选件精准控制膜厚
● 智能系统识别,自动感知用户所插入镀膜头的类型
● Drop-in式快速换样品台(标配旋转台)
● 真空闭锁功能,让工作腔室在待机使用时亦处于真空状态
● 不破坏真空条件下的溅射时间可长达60分钟,适合材料科研应用
● 人体工程学设计,整体成型机壳,维护、拆装容易
● 带有本地FTP服务器连接的以太网端口,程序更新简单
● 设有功率因素补偿,提高利用电能效率,降低运行成本
● CE认证
技术参数:
● 工作腔室:150mm内径 x 127mm高
● 触摸屏全图像用户界面
● 样品台:标配旋转台
● 真空系统:
涡轮分子泵:带有空气冷却的涡轮分子泵
旋转机械泵:双程旋转机械泵
● 溅射电流:0-150mA;可预设膜厚或使用内置定时器
● 溅射时间:最长60分钟
● 金属蒸发/光阑清洁头:用于钨丝篮或金属热蒸发。
● 尺寸和重量:仪器机箱585mm宽x 470mm长 x 410mm高 (总高: 650mm)
● 仪器总重量:33.4Kg