JY-S120A是一款全自动镀膜仪，采用全新的智能化系统加上触摸屏的操作方式，专为扫描电镜成像中的非导电样品高质量镀膜设计。设备配备直观的操作界面，用户可轻松设定真空度、溅射时间、电流等，并支持一键调用和运行预设方案，极大简化了操作流程。
产品特性
高效溅射：采用高效的低压直流磁控溅射技术，使镀层颗粒细腻均匀，低温溅射的同事避免了对样品表面的损伤 。
用户友好界面：配备触控式7寸IPS液晶显示屏 。界面友好，可一键运行程序 。
自动化操作：可设置一键启动，系统能自动完成抽真空、腔室冲洗、溅射参数调整和溅射镀膜等流程 。镀膜完成后，可设置自动或手动泄压 。
数字化控制：溅射电流采用数字化控制，不受样品室内气压影响，可获得一致的镀膜速率和最理想的镀膜效果 。
多种靶材兼容：可使用多种金属靶材，包括金 (Au)、金/钯 (Au/Pd)、钯 (Pd)、银 (Ag)、铂 (Pt) 和铂/钯 (Pt/Pd)，靶材更换快速方便 。
系统监控：系统可实时曲线显示溅射电流和工作真空度 。同时具备历史记录功能，可查看历史运行程序日志，包括溅射电流、溅射时间、工作压力等 。
方案存储：内置6个预设方案，可设置并存储常用参数为自定义方案，一键调用运行 。
语音提示：可开启/关闭屏幕触控声音，镀膜完成后具备提示音 。
靶材使用记录：可记录靶材使用时间及次数 。
技术参数
| 镀膜仪系统 | 参数 |
|---|---|
| 设备尺寸 | 450x310x340mm |
| 操作界面 | 7英寸IPS彩色液晶触摸屏 |
| 靶材 | 57*0.1mm,标配铂金靶材 |
| 工作模式 | 连续模式、脉冲模式 |
| 操作方式 | 全自动一键操作 |
| 样品仓尺寸 | 120x120mm |
| 真空泵系统 | 参数 |
| 抽气速率 | 8 m3/h (2.2 L/s) |
| 极限真空 | 5×10−2 Pa |
| 功率 | 400W |
| 噪音 | 56dB |
