Planotec-B 是专为自动颗粒分析系统开发的带有图案和枪击残留物颗粒的标样,主要用于SEM/EDS 系统的性能验证。将含有铅 (Pb)、 antimony (Sb) 和钡 (Ba) 元素的微小颗粒固定在 8 × 8 mm 的玻碳基底上。由于生产工艺确保了颗粒组成与分布的高度一致,该标样可用于多项校准和评估任务。
核心功能
该标样可测试自动颗粒分析系统的多项关键参数:
样品台与扫描对齐:验证扫描覆盖范围,确保无漏检盲区,同时通过优化视场重叠度避免重复计数。
坐标与机械精度:校验视场旋转、回程误差(不同扫描速度下的识别一致性)以及样品台的绝对机械回差。
EDS 性能验证:测试电子束定位精度、能谱分析质量以及颗粒分类算法的准确性。
集成的微观结构说明
500µm十字线:带有50 µm间距标记和数字标识,用于长度测量、扫描误差检测、对齐测试及磁滞校正。
0.8µm颗粒阵列:由约6000个等间距(20 µm)排列的微粒组成,分布在2.4 mm × 1.0 mm区域。用于测试系统磁滞及低倍率下的图像畸变。
三线网格:用于在不同放大倍率下验证图像的正交性。
7000µm 长线:用于样品台的长距离机械缺陷测量。
合成颗粒矩阵:包含15排等间距(150µm)的颗粒,直径涵盖0.4 µm至2.0 µm的多个梯度。每个颗粒均由PbO、Sb₂O₃ 和 BaF₂组成。
系统兼容性
Planotec-B适用于主流SEM/EDS组合及图像采集系统,包括:
Bruker (Esprit Feature / GSR Professional)
Oxford (AZtec / Inca Feature)
Thermo Fisher (ParticleMetric / Maps™)
ZEISS (Atlas™)
TESCAN (Essence™)
以及 EDAX、Aspex、JEOL、Hitachi 等品牌的颗粒分析软件。




