单晶硅标样-10μm间距
Silicon Test Specimen
用于扫描电镜与光镜放大倍数和图像变形检查。5mm x 5mm，方格间距10µm，线宽1.9µm，通过电子束印刷技术形成。每隔500µm有一稍宽的标记线，用于光学显微镜检测。方格由蚀刻形成，深200nm。可根据扫描电镜型号选择不同样品台。许多类型的样品可以直接安装在硅标样上，以便在图像中获得内部校准。
随标样提供校准证书，但需支付额外费用。保证精度为1％。标样由英国NPL实验室（National Physical Laboratory）用激光干涉测量法测定。
产品编号 | 描述 | 单位 | |
615 | 单晶硅标样，不含样品台 | 个 | |
615-A | 单晶硅标样，含样品台A | 个 | |
615-B | 单晶硅标样，含样品台B | 个 | |
615-C | 单晶硅标样，含样品台C | 个 | |
615-D | 单晶硅标样，含样品台D | 个 | |
615-E | 单晶硅标样，含样品台E | 个 | |
615-F | 单晶硅标样，含样品台F | 个 | |
615-G | 单晶硅标样，含样品台G | 个 | |
615-K | 单晶硅标样，含样品台K | 个 | |
615-L | 单晶硅标样，含样品台L | 个 | |
615-M | 单晶硅标样，含样品台M | 个 | |
615-O | 单晶硅标样，含样品台O | 个 | |
615-P | 单晶硅标样，含样品台P | 个 | |
615-Q | 单晶硅标样，含样品台Q | 个 | |
615-R | 单晶硅标样，含样品台R | 个 | |
615-5 | 单晶硅标样，置涂黑的玻璃片上，用于入光显微镜 | 个 |
认证的单晶硅标样
产品编号 | 描述 | 单位 |
660-615-A | 单晶硅标样，已认证，含样品台A | 个 |
660-615-B | 单晶硅标样，已认证，含样品台B | 个 |
660-615-C | 单晶硅标样，已认证，含样品台C | 个 |
660-615-D | 单晶硅标样，已认证，含样品台D | 个 |
660-615-E | 单晶硅标样，已认证，含样品台E | 个 |
660-615-F | 单晶硅标样，已认证，含样品台F | 个 |
660-615-G | 单晶硅标样，已认证，含样品台G | 个 |
660-615-K | 单晶硅标样，已认证，含样品台K | 个 |
660-615-L | 单晶硅标样，已认证，含样品台L | 个 |
660-615-M | 单晶硅标样，已认证，含样品台M | 个 |
660-615-O | 单晶硅标样，已认证，含样品台O | 个 |
660-615-P | 单晶硅标样，已认证，含样品台P | 个 |
660-615-Q | 单晶硅标样，已认证，含样品台Q | 个 |
660-615-R | 单晶硅标样，已认证，含样品台R | 个 |
660-615-5 | 单晶硅标样，置涂黑的玻璃片上，用于入光显微镜，已认证 | 个 |
黄小姐（设备）