108auto 离子溅射仪

108auto 离子溅射仪
    108 Auto SE是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
一、自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和最佳的导电喷镀效果。
二、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
三、操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
四、在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，
五、通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程。
六、可用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）手动停止喷镀过程。
七、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。
八、可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。
 
技术参数
 
溅射系统
样品室大小
直径150mm x 165mm 高 (4.75 x 4.75")
高度可变165mm-250mm
靶材
Au 靶为标配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）;大小：直径57mm x 0.1mm厚
样品台
可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为60mm
溅射控制
微处理器控制，安全互锁，可调，最大电流40mA，程序化数字控制
溅射头
低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
模拟计量
真空： Atm - 0.001mbar，电流：0-50mA
厚度监控
(选件)
使用MTM-20高分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程，或使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）手动终止溅射过程
控制方法
自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气
真空系统
真空泵
2级直连式高速真空泵
抽气速率
3.0 m3/小时 ，真空度到 0.1mb所需时间30秒
桌上系统
真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统
可选附件：
 
一、膜厚测控仪
膜厚控制仪MTM-20
性能
基于微处理器，4位数字显示，复位按钮， 6MHz晶体（具有寿命检查功能），5次/s的更新速率
膜厚范围
0.0 - 999.9nm
分辨率
优于 0.1nm
密度范围
0.50 - 30.00gm/cm3
修正系数范围
0.25 - 8.00
镀膜终止范围
膜厚0 - 999.9nm
 
二、R-P-T（Rotary-Planetary-Tilting）样品台
     
样品台可旋转，可倾斜，适合多角度样品。