Critical Dimension (CD) Calibration Test Specimens
适用SEM、FIB、AFM
尤其适用于SEM / FIB放大倍数校准，亦可用于校准AFM。使用高性能SEM或FIB的显微学家和工程师将会发现这款标样非常有用。该标样于4.8 x 4.8mm硅片上含系列条纹，款式分两种：
CD 10-5-2-1-0.5um：
中心区含五组条纹，条纹间距被清楚地标记，分别为：10.0um、5.0µm、2.0µm、1.0µm、 0.5µm。中心条纹区可用于AFM测量。条纹通过蚀刻方式在硅表面形成，深约200nm。Si表面无镀层。根据认证与否，分两种：
-未认证
- PTB（Physikalische Technische Bundesanstalt - German counter part of NIST）认证，独立编号
产品代码 | 描述 | 单位 |
618-5 | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未编号，不含样品台 | 个 |
618-7 | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证可溯源，不含样品台 | 个 |
618-5A | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品台A | 个 |
618-5B | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品台B | 个 |
618-5C | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品台C | 个 |
618-5D | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品台D | 个 |
618-5E | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品台E | 个 |
618-5F | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品台F | 个 |
618-5G | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品台G | 个 |
618-5K | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品台K | 个 |
618-5L | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品台L | 个 |
618-5M | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品台M | 个 |
618-5O | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品台O | 个 |
618-5P | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品台P | 个 |
618-5Q | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品台Q | 个 |
618-5R | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品台R | 个 |
618-7A | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品台A | 个 |
618-7B | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品台B | 个 |
618-7C | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品台C | 个 |
618-7D | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品台D | 个 |
618-7E | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品台E | 个 |
618-7F | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品台F | 个 |
618-7G | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品台G | 个 |
618-7K | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品台K | 个 |
618-7L | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品台L | 个 |
618-7M | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品台M | 个 |
618-7O | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品台P | 个 |
618-7P | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品台P | 个 |
618-7Q | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品台Q | 个 |
618-7R | CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品台R | 个 |
CD 500-200-100nm:
这种先进的CD标样适用更小尺度的校准。CD 500-200-100nm标样含三组条纹，条纹间距被清楚地标记，分别为500nm、200nm、100nm。中心条纹区可用于AFM测量。条纹通过蚀刻方式在硅表面形成，深约45-50nm 。Si表面无镀层。
产品代码 | 描述 | 单位 |
618-4 | CD 500-200-100nm标样，未认证，不含样品台 | 个 |
618-4A | CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品台A | 个 |
618-4B | CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品台B | 个 |
618-4C | CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品台C | 个 |
618-4D | CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品台D | 个 |
618-4E | CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品台E | 个 |
618-4F | CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品台F | 个 |
618-4G | CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品台G | 个 |
618-4K | CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品台K | 个 |
618-4L | CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品台L | 个 |
618-4M | CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品台M | 个 |
618-4O | CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品台O | 个 |
618-4P | CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品台P | 个 |
618-4Q | CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品台Q | 个 |
618-4R | CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品台R | 个 |
