MRS-6放大倍数校准标样

1,500x - 1,000,000x

这是下一代NIST和NPL（英国NIST对应机构）的可溯源，放大参考标准和分级测微计。用于从1,500x - 1,000,000x（80nm最小间距）进行仪器校准。

典型应用：

• 电子显微镜： SEM和FIB / SEM（二次和背散射电子），TEM（与散装支架一起使用），MRS-6的尺寸为2×2×0.5mm。

• 扫描显微镜和轮廓测量： STM，AFM，stylus和optical etc等。单晶硅上的图案高度约为15nm。

• 光学显微镜：反射，明/暗场，差分对比度和共焦。

• 化学制图： EDS，WDS，Micro / Macro XRF，XPS，Auger等。该图案是在单晶硅上使用15nm铬制造的。

• 分辨率测试：使用一系列2bar标识（类似于USAF 1953图案），大小从80nm到3μm。

• 线性测试： 40 x40μm的间距为1μm²。