E-Beam Lithography电子束光刻样品夹

电子束光刻样品夹上包括：
  2 个 PELCO SEM样品夹用来夹持样品 
  ø2.5mm法拉第杯（100μm光阑）用来测量束流 
  ø3mm碳基金标样用于分辨率测试
以上所有都安装在一个25mm铝制钉形样品台上，定位时留出最大的样品空间，碳基金标样的高度在支架表面上方约0.5mm处。碳基金标样类似于＃617，金颗粒大小范围约为5nm至150nm。样品台装在塑料储物盒里，针脚长度为8.5mm。材料：铝制铜夹和黄铜螺丝。