光学图像分析标样

mage Analysis Standard (Reference Stage Graticule)

为校准图像分析系统、识别光学成像系统中的偏差及变形提供4个高精密测试区。标样可用作高精密度千分尺，附有单独的证书与使用建议。标样被置于75mm x 25mm的载片上，其中方格的准确度为±0.1µm，圆点准确度为±0.3µm（root-2阵列上最小和最大的圆点除外，其准确度为±0.5µm）。

4个测试区分别为：

1. 400µm x 400µm被分成200、100、50、25µm的方格，可以用于检测总体图像变形，亦可用作准确的二维样品千分尺；

2. 直径15µm的圆点阵列（20 x      17）可用于识别透镜变形，设定视场以消除边缘失真；

3. root-2阵列上的点直径为3µm至48µm，用于测定相机及显微镜系统的阈值水平；

4. 直径在4.5µm至 27µm之间呈对数正态分布的100个点阵列可以用于测定平均值与标准偏差，并与标称值作比较。

提供NPL校准证书