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镀膜仪

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小型离子溅射仪

时间:2020-07-07

型号:108 auto se

品牌:

价格:面议

108 Auto/SE是一款结构紧凑的桌上小型离子溅射仪,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜,是108auto的大样品室型号,样品室直径为直径150mm x 165mm。更大的样品室可同时对更多样品进行喷镀,相比108auto的磁场更强,沉积速度相对较快。

主要特性

一、自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和最佳的导电喷镀效果。

二、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

三、操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

四、在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果,

五、通过使用高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

六、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。

七、可使用多种金属靶材:Au Au/Pd,Pt,Pt/PdAu靶为标配),靶材更换快速方便。

 

 

技术参数

 

溅射系统

样品室大小

直径150mm x 165mm   高

高度可调:165mm-250mm

靶材

Au 靶为标配, Au:Pd,   Pt, Pt:Pd (选件);大小:直径57mm x 0.1mm

样品台

可以装载12SEM样品座,高度可调范围为60mm

溅射控制

微处理器控制,安全互锁,可调,最大电流40mA,程序化数字控制

溅射头

低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩,具有溅射挡板保护溅射头

模拟计量

真空: Atm - 0.001mbar,电流:0-50mA

厚度监控
  (
选件)

使用高分辨厚度控制仪(选件)可自动终止溅射过程。

控制方法

自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(0300s),自动放气

真空系统

真空泵

2级直连式高速真空泵

抽气速率

160L/MIN

噪音

56dB

极限真空

5 x 10-4mbar


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