小型离子溅射仪

108 Auto/SE是一款结构紧凑的桌上小型离子溅射仪，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜，是108auto的大样品室型号，样品室直径为直径150mm x 165mm。更大的样品室可同时对更多样品进行喷镀，相比108auto的磁场更强，沉积速度相对较快。

主要特性

一、自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和最佳的导电喷镀效果。

二、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

三、操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

四、在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，

五、通过使用高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

六、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。

七、可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。

技术参数