外部泵送的ExP真空吸笔是Porta-Wand®和Porta-Vac II®系统的一个完美的、具有成本效益的替代品；只需使用一个合适的真空泵或内部真空管道。ExP真空吸笔使用与Porta-Wand®和Porta-Vac II®相同尺寸的晶圆吸头。ExP真空吸笔有一个按钮来释放晶圆。该套件配有一个真空吸笔架，旨在保持按钮被压下，以便在不使用真空吸笔时关闭真空管道。配有1/8 "内径的卷状真空管。PELCO®真空拾取泵（产品编号520）可以作为真空源使用。
可用于4、6、8和12英寸晶圆、太阳能电池、磁盘介质或平坦的硬表面
吸力超过500克（取决于提供的真空度）
包括支架和盘状真空管（不包含真空泵）
套件包括ESD防静电扁平晶圆吸头
与PELCO #520真空拾取泵兼容
所需真空度约为8英寸汞柱
长度7英寸（177.8毫米），直径0.5英寸（12.7毫米）。
52939
52938
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 外部泵送 ExP真空吸笔 | ||
| 52931 | ExP真空吸笔，带ESD防静电扁平晶圆吸头，用于最大 4 英寸晶圆、1/8 盘绕软管和支架 | 套 |
| 52932 | ExP真空吸笔，带ESD防静电扁平晶圆吸头，用于最大 6英寸晶圆、1/8 盘绕软管和支架 | 套 |
| 52933 | ExP真空吸笔，带ESD防静电扁平晶圆吸头，用于最大 8英寸晶圆、1/8 盘绕软管和支架 | 套 |
| 52934 | ExP真空吸笔，带ESD防静电扁平晶圆吸头，用于最大 12英寸 晶圆、1/8 盘绕软管和支架 | 套 |
| 52938 | 用于 1/8" 软管的 ExP真空吸笔 | 个 |
| 52939 | 支架 | 个 |
配件：
配了真空泵的真空吸笔
货号 | 产品名称 | 单位 |
520-220 | 真空泵, 220V | 个 |
晶圆吸头
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 52920-4 | 扁平晶圆吸头，用于 4"晶圆 | 个 |
| 52920-6 | 扁平晶圆吸头，用于 6"晶圆 | 个 |
| 52920-8 | 扁平晶圆吸头，用于 8"晶圆 | 个 |
| 52920-12 | 扁平晶圆吸头，用于处理较大尺寸的晶圆（无左角或右角可用） | 个 |
硬质阳极氧化铝晶圆吸头
| 产品# | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 52920-14 | 硬质阳极氧化铝晶圆吸头，最大 4" (100mm) 晶片 | 个 |
| 52920-16 | 硬质阳极氧化铝晶圆吸头，最大 6" (150mm) 晶片 | 个 |
| 52920-18 | 硬质阳极氧化铝晶圆吸头，最大 8" (200mm) 晶片 | 个 |
黄小姐（设备）