用MEMS制造工艺制造的多孔氮化硅支持膜，该多孔氮化硅支持膜是在3mm的硅片上有一个0.5mm x 0.5mm的窗口，窗口上有一张的低应力厚度为200nm的无定形氮化硅阵列孔支持膜。共有十二种孔径可供选择，范围从100nm至5μm，阵列孔数90 x 90到1125 x 1125个。
| 产品货号 | 载网目数 | 材质 | 规格 |
| 21536-10 | 多孔氮化硅支持膜，200nm厚，5μm的孔，0.5×0.5毫米窗口 | 硅 | 10/包 |
| 21535-10 | 多孔氮化硅支持膜，200nm厚，2.5μm的孔，0.5×0.5毫米窗口 | 硅 | 10/包 |
| 21580-10 | 多孔氮化硅支持膜，200nm厚，1250nm的孔，0.5×0.5毫米窗口 | 硅 | 10/包 |
| 21581-10 | 多孔氮化硅支持膜，200nm厚，1000nm的孔，0.5×0.5毫米窗口 | 硅 | 10/包 |
| 21582-10 | 多孔氮化硅支持膜，200nm厚，750nm的孔，0.5×0.5毫米窗口 | 硅 | 10/包 |
| 21583-10 | 多孔氮化硅支持膜，200nm厚，500nm的孔，0.5×0.5毫米窗口 | 硅 | 10/包 |
| 21584-10 | 多孔氮化硅支持膜，200nm厚，400nm的孔，0.5×0.5毫米窗口 | 硅 | 10/包 |
| 21588-10 | 多孔氮化硅支持膜，200nm厚，300nm的孔，0.5×0.5毫米窗口 | 硅 | 10/包 |
| 21587-10 | 多孔氮化硅支持膜，200nm厚，250nm的孔，0.5×0.5毫米窗口 | 硅 | 10/包 |
| 21586-10 | 多孔氮化硅支持膜，200nm厚，200nm厚孔，0.5×0.5毫米窗口 | 硅 | 10/包 |
| 21590-10 | 多孔氮化硅支持膜，200nm厚，150nm的孔，0.5×0.5毫米窗口 | 硅 | 10/包 |
| 21585-10 | 多孔氮化硅支持膜，200nm厚，100nm的孔，0.5×0.5毫米窗口 | 硅 | 10/包 |
黄小姐（设备）