JY-S100离子溅射仪是一款结构紧凑的桌上小型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
l 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
l 操作容易快捷，控制的参数包括放气以及氩气换气控制。
l 数字化的喷镀电流控制不受样品室内气压影响，可得到一致的镀膜速率和高质量的镀膜效果。
l 可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au 靶为标配），靶材更换快速方便。
技术参数
溅射系统 | |
| 样品仓尺寸 | 120x120mm |
靶材 | Au 靶为标配，可选 Pt，直径 57mm x 0.1mm 厚 |
标准样品台 | 可以装载 12 个 SEM 样品座，高度可调范围为 60mm |
※旋转倾斜样品台（选配） | 旋转速度：0~60rpm 连续可调，倾斜角度：-90°~ 90°连续可调； 不锈钢腔体：直径 120mm X 高 75mm； 观察窗：直径 120mm X 高 45mm； 标配旋转台直径 40mm，可放 4 个标准样品台，其它规格可订做；具有双重锁紧装置，可确保样品在旋转倾斜时不会松动脱落。 |
溅射电流 | 微处理器控制，安全互锁，可调，电流 5~30mA，程序化数字控制 |
计量表 | 真空： Atm - 1*10-3mbar，电流：0~99mA |
控制方法 | 带有“开始”“暂停”按钮的微处理控制器（1－999s），自动抽气、溅射、关机后自动放气。 |
真空系统 | |
抽气速率 | 133L/MIN |
极限真空 | 10-4 mbar 级 |
噪音 | 56dB |
黄小姐（设备）