符合ISO 17025:2017标准的CDMS产品。NIST标准的可追溯性或单独认证有证书。
Pelcotec™ CDMS ISO校准标样是一种独特的经济实惠、功能齐全、可追溯的校准标样，可用于快速精准的扫描电镜(SEM)、场发射扫描电镜(FESEM)、离子束刻蚀(FIB)、CD-SEM、LM和AFM放大倍数校准。
Pelcotec™ CDMS ISO校准标样是在超平硅基底上制造的，对 5 微米以下的特征进行了 50 纳米铬的精确沉积，对 2 微米至 100 纳米的特征进行了 50 纳米金和 20 纳米铬的组合沉积。硅基上的铬和金/铬在 SE 和 BSE 成像模式下都能提供出色的对比度。与蚀刻硅标准相比，特征更容易确定。由于硅基底、铬和铬/金特征都是导电的，因此该标样不存在充电问题。CDMS 标样结构坚固，可使用低功率等离子清洗器进行清洗。
Pelcotec™ CDMS ISO校准标样有两种特征尺寸范围，分别是 Pelcotec™ CDMS-1T ISO和 Pelcotec™ CDMS-0.1T ISO，都提供可追溯和认证标样，共有4个种：
Pelcotec™ CDMS-1T ISO: 可追溯，特征尺寸范围为2.0毫米到1微米，放大倍数范围为10倍到20,000倍，非常适合台式扫描电镜和低到中等放大应用。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 691-1 | Pelcotec™ CDMS-1T ISO，2mm - 1µm，可追溯，没有样品台 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-1C ISO: 经过NIST标样认证的特征尺寸范围为2.0毫米到1微米，放大倍数范围为10倍到20,000倍，非常适合台式扫描电镜和低到中等放大应用。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 695-1 | Pelcotec™ CDMS-1C ISO，2mm - 1µm，经过认证，没有样品台 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-0.1T ISO: 可追溯，特征尺寸范围为2.0毫米到100纳米，放大倍数范围高达10倍到200,000倍，适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 692-01 | Pelcotec™ CDMS-0.1T ISO，2mm - 100nm，可追溯，没有样品台 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-0.1C ISO: 经过NIST标样认证的特征尺寸范围为2.0毫米到100纳米，放大倍数范围高达10倍到200,000倍，适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 696-01 | Pelcotec™ CDMS-0.1T ISO，2mm - 100nm，经认证，没有样品台 | 个 |
Pelcotec™ CDMS ISO标样的特征尺寸范围为2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10µm、5µm、2µm和1µm（适用于 Pelcotec™ CDMS-1T ISO 和 Pelcotec™ CDMS-1C ISO）。而Pelcotec™ CDMS-0.1T ISO 和 0.1C ISO 的特征尺寸范围为2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10µm、5µm、2µm、1µm、500nm、250nm和100nm。
Pelcotec™ CDMS ISO标样采用超平整的硅衬底制成，采用精密的50nm铬沉积技术制造特征尺寸小于5µm的部分，而采用50nm金/20nm铬的组合制造2µm到100nm的特征尺寸。铬和金/铬在硅基底上提供了卓越的SE和BSE成像模式对比度，比刻蚀硅标样更易于确定特征。由于硅衬底、铬和铬/金特征都具有导电性，因此该校准标样不存在充电问题。由于其坚固的结构，CDMS标样可使用等离子体清洗器进行清洁。
较小的特征尺寸被嵌套在一起，以便于导航和快速校准。特征的精度为0.3%或更高。标样的实际尺寸为2.5 x 2.5mm，厚度为525µm ±10µm，在硅表面上没有涂层。每个Pelcotec™ CDMS ISO校准标样都有一个独特的识别编号。
Pelcotec™ CDMS ISO校准标样可供选择不安装或安装在SEM样品台A-R上。对于AFM应用，Pelcotec™ CDMS ISO安装在12mm的AFM圆片上，而对于LM应用，则安装在25 x 75mm的载玻片上。也可以制备在自定义的支架上。
可选的样品座。
| 类型 | 货号 | （D=直径；P=钉腿直径；PL=钉腿（长度） | |
| A | 16111 |  | 钉形样品台：D=12.7mm；P=3.2mm；PL= 7.9mm, FEI/Philips, Cambridge, Leica, TESCAN, CAMSCAN, ASPEX, Phenom |
| B | 16261 |  | 钉形样品台：D=12.7mm；P=3.2mm；PL=14.3mm, AMRAY |
| C | 16221 |  | 直径 9.5 毫米 x 9.5mm 圆柱形，JEOL |
| D | 16281 |  | 直径 15 毫米 x 15mm 圆柱形，JEOL，ISI/ABT/TOPCON |
| E | 16291 |  | 直径 15 毫米 x 10mm 圆柱形，JEOL，ISI/ABT/TOPCON |
| F | 16111-9 |  | 钉形样品台：12.7mm x 3.2mm 钉腿。PL=6mm, ZEISS/LEO SEMS FESEMs/FIBS |
| K | 16324 |  | 直径 15 毫米 x 6mm 圆柱，M4 Hitachi，Agilent / Keysight |
| L | 16327 |  | 直径 25 毫米 x 6mm 圆柱，M4 Hitachi，Agilent / Keysight |
| M | 16231 |  | 直径 12.2 毫米 x 10mm 圆柱，Hitachi |
| O | 16115 |  | 直径 31.7 毫米 x 6.47 毫米，Cambridge S4 支架 |
| P | 16242 |  | 钉形样品台：直径 12.7 毫米x 15.7mm 高度，AMRAY 专用开槽头 |
| Q | 16153 |  | 直径 25 毫米 x 10mm 圆柱，JEOL |
| R | 16144 |  | 钉形样品台：D=25.4mm；pin=3.2mm, FEI/Philips, Cambridge, Leica, TESCAN, CAMSCAN, ASPEX, Phenom |
| Pelcotec™ CDMS-1-ISO | Pelcotec™ CDMS-0.1-ISO | |
| 基底：硅 | ✓ | ✓ |
| 基底尺寸：2.5×2.5mm | ✓ | ✓ |
| 基底厚度：525±10μm | ✓ | ✓ |
| 唯一序列识别号 | ✓ | ✓ |
| 2mm、1mm、0.5mm、0.25mm 的校准方块 | ✓ | ✓ |
| 垂直于 X 轴的刻度线，间距为 10μm、5μm、2μm 和 1μm | ✓ | ✓ |
| 仅高分辨率版本 - 垂直于 X 轴的附加刻度线以 500、250 和 100 nm 节距标出 | — | ✓ |
| 特征材料：50nm Cr (2mm - 5µm) | ✓ | ✓ |
| 特征材料：20nm Cr/50nm Au（2μm 和 1μm） | ✓ | ✓ |
| 特征材料：20nm Cr/50nm Au（500、250 和 100nm） | — | ✓ |
| 可在晶圆级追溯到 NIST（ISO 17025:2017 认证标准） | T 版本 | T 版本 |
| CDMS 标样直接获得 NIST 标准认证（ISO 17025:2017 认证标准） | C版本 | C版本 |
| 不含样品台 | ✓ | ✓ |
| 可安装在 SEM样品台上 | ✓ | ✓ |
| 精度优于0.3% | ✓ | ✓ |
