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校准标样

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PELCO X-CHECKER® Wafer 晶圆标样

时间:2023-12-15

型号:602-20

品牌:PELCO

价格:面议

PELCO X-Checker™ Wafer适用于配置硅晶圆处理的系统。PELCO X-Checker™ Wafer适用于标准的200mm(8英寸)和300mm(12英寸)晶圆,具有八种用于元素和空间校准的标准。

#602-20和#602-21包含:

  • 铜,用于检查光谱校准

  • 锰88%,镍12%合金,用于测量探测器分辨率的半高全宽(FWHM)

  • 400目TEM网,用于成像校准

  • PTFE作为氟源,用于测量低能量分辨率

  • 碳用于监测薄窗探测器光谱的低端校准

  • 硼化氮,用于测试低能量性能/峰分离

  • 304不锈钢,用于检查定量

  • 包含使用说明书和晶圆盒。


  • 产品编号描述单元
    602-20PELCO X-Checker™ Wafer 200mm (8")
    602-21PELCO X-Checker™ Wafer 300mm (12")

602-20-21-Diagram

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