PELCO X-CHECKER® Wafer 晶圆标样

PELCO X-Checker™ Wafer适用于配置硅晶圆处理的系统。PELCO X-Checker™ Wafer适用于标准的200mm（8英寸）和300mm（12英寸）晶圆，具有八种用于元素和空间校准的标准。

#602-20和#602-21包含：

• 铜，用于检查光谱校准

• 锰88%，镍12%合金，用于测量探测器分辨率的半高全宽（FWHM）

• 400目TEM镍网，用于成像校准

• PTFE作为氟源，用于测量低能量分辨率

• 碳用于监测薄窗探测器光谱的低端校准

• 铝

• 硼化氮，用于测试低能量性能/峰分离

• 304不锈钢，用于检查定量

• 包含使用说明书和晶圆盒。

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• 产品编号	描述	单元
  602-20	PELCO X-Checker™ Wafer 200mm (8")	个
  602-21	PELCO X-Checker™ Wafer 300mm (12")	个