PELCO® FlexScribe™(原LatticeGear™产品)是一种超快速、简单的划片机,通过在晶圆和样品表面划线来缩小尺寸。采用的是一个安装在滑动划线机构上的划线轮,确保每次划线都保持直线。这款系统被用于在各种材料上划线,包括玻璃片、盖玻片、硅、III-V族化合物、蓝宝石和其他晶体和脆性材料,不受形状限制。有两个不同的型号,54340可以应对大小从5mm到200mm的各种样品——54342可以处理最大达到300mm的晶圆。
安装在PELCO® FlexScribe™上的碳化钨刀头非常适合处理包括硅、玻璃、砷化镓和其他晶体材料在内的各种样品。也可选择金刚石刀头和深切刀轮。
依据具体应用推荐使用的压头如下:
#54346 碳化钨划线轮,适用于通用目的的划线应用。。
#54343 金刚石划线轮,适用于超薄玻璃、钢化玻璃和像蓝宝石这样的硬质材料。
#54344 深切刀轮,适用于如厚玻璃或者离轴解理等应用场景