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镀膜仪

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108Manual 离子溅射仪

时间:2017-06-06

型号:108 manual

品牌:Ted Pella

价格:面议

108Manual

108 manual是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

主要特性

l  通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

l  操作容易快捷,控制的参数包括放气以及氩气换气控制。

l  可用MTM-10高分辨膜厚控制仪(选件)精确测定所镀膜的厚度。

l  数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。

l  可使用多种金属靶材:Au Au/Pd,Pt,Pt/PdAu靶为标配),靶材更换快速方便。

l 

 

 

技术参数

l 

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溅射系统

样品室大小

直径120mm x 120mm (4.75 x 4.75")

靶材

Au 靶为标配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件);大小:直径57mm x 0.1mm

样品台

可以装载12SEM样品座,高度可调范围为60mm

溅射控制

微处理器控制,安全互锁,可调,最大电流40mA,程序化数字控制

溅射头

低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩

模拟计量

真空: Atm - 0.001mbar

厚度监控
  (
选件)

使用MTM-10高分辨厚度监控仪(选件)精确测定所镀膜的厚度

控制方法

手动气体换气和泄气功能,带有“暂停”控制的数字定时器(5300s),手动放气

真空系统

真空泵

2级直连式高速真空泵

抽气速率

3.0 m3/小时 ,真空度到 0.1mb所需时间30.

桌上系统

真空泵可置于抗震台上,全金属集成耦合系统


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