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镀膜仪

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108C 镀碳仪(蒸镀仪)

时间:2017-06-06

型号:108C

品牌:英国Cressington

价格:面议

 108C是用于扫描电镜能谱分析的最先进的镀碳仪之一。

主要特性

l  独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发,无须切削或调整碳棒形状。

l  108C中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑,容易操作,抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。

l  使用新型的蒸发装置:电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低,碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。

l  可选择手动或自动方式操作。

l  自动模式下,蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下,独特的设计允许以脉冲或连续的方式操作,并通过旋钮控制输出电压。

l  可配备MTM-10高分辨膜厚监控仪(选件)。分辨率优于0.1nm。在15nm25nm的碳膜厚度范围内,重现性可优于5%。

技术参数

样品室大小

直径120 x 120mm (4.75 x 4.75")

蒸发源

Bradley (6.15mm   rods),高强度不锈钢结构

蒸发控制

基于微处理器的反馈回路控制,能够进行远程电流/电压感应,基于真空水平变量的安全互锁功能,最大电流180A,提供过流保护

样品台

可装置12个样品座,高度在30mm范围内可调

模拟计量

真空: atmos - 0.001mb; 电流: 0-200A

厚度监控

MTM-10 高分辨膜厚监控仪(选件)

控制方法

自动蒸发控制,使用程序设定的电压和时间

以脉冲或连续方式进行完全手动控制

数字定时器(010s

数字电压设置(0.1 to 6.0V

真空系统

真空泵

2级直连式高速真空泵

抽气速率

100L/MIN

极限真空

≤1 x 10-3 Torr

噪音

50dB


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