150R S Plus – 紧凑型机械泵溅射仪，适合非氧化金属
150R E Plus– 紧凑型机械泵镀碳仪
150R ES Plus–集成了离子溅射和碳蒸镀两种沉积功能的紧凑型机械泵镀膜仪
新款改进
● 触摸屏更换成便于操作的电容触摸屏
● 固件更新，新版操作界面类似安卓系统，便于客户上手
● 新的彩色LED可视状态指示灯
● USB接口可以用于固件更新，并可将镀膜方案文件备份/复制到USB存储设备
● 可以通过USB端口以.csv格式导出过程日志文件，以便统计分析
技术参数
仪器尺寸 | 585mm W x 470mm D x 410mm H (打开镀膜头时总高 650mm) |
重量 | 28.4kg |
包装尺寸 | 725mm W x 660mm D x 680mm H (36.8kg) |
工作腔 | 硼硅酸盐玻璃，152mm Ø (内) x 127mm H |
安全钟罩 | PET材质 |
显示 | 145mm 320 x 240 彩色图形TFT (Thin Film Transistor)显示 |
用户界面 | 直观全图形界面，触摸屏控制 |
溅射头 | 标配 57mm Ø、0.1mm厚金靶（Q150R S，Q150R ES） |
样品台 | 50mm Ø旋转样品台，带6个15mm、10mm、6.5mm或1/8”钉形样品座孔，旋转速度8-20 rpm |
真空
机械泵 | Edwards RV3 50L/s双程机械泵 |
真空测量 | 标配Pirani规 |
极限真空 | 2 x 10-2mbar |
工作真空 | 3 x 10-2 mbar与5 x 10-1mbar之间 |
操作过程
溅射 | 0-80mA，最大溅射时间60 min |
碳蒸镀 | 电流脉冲：碳绳，1-60 A；1.4mm Ø碳棒，1-90 A |
辉光放电 | 0-80mA，DC+及DC-模式 |
其它
工作气体 | Ar气，99.999%，N2为排放气体（选件） |
电源 | 90-250V ~ 50/60 Hz 1400 VA |
认证 | CE |
黄小姐（设备）