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电镜室常用工具

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  • Porta-Wand充电晶圆吸笔

Porta-Wand充电晶圆吸笔

时间:2022-03-30

型号:

品牌:

价格:面议

可拾取4、6、8或12英寸晶圆(100、150、200、300毫米)、太阳能电池、磁盘介质或平坦、坚硬的表面物品。

Porta-Wand®套件配有一个固定的内部9.6V NiMH可充电电池,支架内充电器和一个ESD防静电晶圆吸头。可举起超过500克的物品。按压式按钮提供简单的开/关控制,当需要充电时,"电池电量不足 "的指示灯会闪烁。内部空气过滤器可从工具前部更换,内部排气过滤器确保比1级性能更好。泵空气的后排气是标准的。可选择墙面安装支架。

电池类型:9.6伏镍氢电池,固定,可充电

电池充电时间:满电120分钟

连续运行时间:2至3小时

完全充电的次数:1000次

电池更换:不可更换

真空度根据海拔高度和大气压力,最低15至20英寸汞柱。

工作温度范围:10°C 至 45°C

充电器电源要求:通用 110-220V


产品编号描述单位
52901Porta-Wand ®带ESD防静电扁平晶圆吸头,可用于最大 4" (100mm) 晶圆、115V 内置充电器和 9.6 伏可充电镍氢电池
52902Porta-Wand ®带ESD防静电扁平晶圆吸头,可用于最大 6" (150mm) 晶圆、115V 内置充电器和 9.6 伏可充电镍氢电池
52903Porta-Wand ®带ESD防静电扁平晶圆吸头,可用于最大 8" (200mm) 晶圆,带有 115V 内置充电器和 9.6 伏可充电镍氢电池
52904Porta-Wand ®带ESD防静电扁平晶圆吸头,用于最大 12" (300mm) 的晶圆,带有操作真空指示器和内置充电器,以及 9.6 伏可充电镍氢电池
52909Porta-Wand ®立式充电器,110-220V
带有硬质阳极氧化晶圆吸头的 Porta-Wand ®
52912Porta-Wand ®带有硬质阳极氧化铝晶圆吸头,可用于最大 6 英寸(150 毫米)晶圆,配备 110-220V 内置充电器和 9.6 伏可充电镍氢电池
52920用于 Porta-Wand ®的进气过滤器5/包

配件:

晶圆吸头



产品编号描述单位
52920-4扁平晶圆吸头,用于 4"晶圆
52920-6扁平晶圆吸头,用于 6"晶圆
52920-8扁平晶圆吸头,用于 8"晶圆
52920-12扁平晶圆吸头,用于处理较大尺寸的晶圆(无左角或右角可用)



硬质阳极氧化铝晶圆吸头



产品#描述单位
52920-14硬质阳极氧化铝晶圆吸头,最大 4" (100mm) 晶片
52920-16硬质阳极氧化铝晶圆吸头,最大 6" (150mm) 晶片
52920-18硬质阳极氧化铝晶圆吸头,最大 8" (200mm) 晶片




产品编号描述单位
52920用于 Porta-Wand ®的进气过滤器5/包


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