可拾取4、6、8或12英寸晶圆(100、150、200、300毫米)、太阳能电池、磁盘介质或平坦、坚硬的表面物品。
Porta-Wand®套件配有一个固定的内部9.6V NiMH可充电电池,支架内充电器和一个ESD防静电晶圆吸头。可举起超过500克的物品。按压式按钮提供简单的开/关控制,当需要充电时,"电池电量不足 "的指示灯会闪烁。内部空气过滤器可从工具前部更换,内部排气过滤器确保比1级性能更好。泵空气的后排气是标准的。可选择墙面安装支架。
电池类型:9.6伏镍氢电池,固定,可充电
电池充电时间:满电120分钟
连续运行时间:2至3小时
完全充电的次数:1000次
电池更换:不可更换
真空度根据海拔高度和大气压力,最低15至20英寸汞柱。
工作温度范围:10°C 至 45°C
充电器电源要求:通用 110-220V
配件:
晶圆吸头
产品编号 | 描述 | 单位 |
---|---|---|
52920-4 | 扁平晶圆吸头,用于 4"晶圆 | 个 |
52920-6 | 扁平晶圆吸头,用于 6"晶圆 | 个 |
52920-8 | 扁平晶圆吸头,用于 8"晶圆 | 个 |
52920-12 | 扁平晶圆吸头,用于处理较大尺寸的晶圆(无左角或右角可用) | 个 |
硬质阳极氧化铝晶圆吸头
产品# | 描述 | 单位 |
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52920-14 | 硬质阳极氧化铝晶圆吸头,最大 4" (100mm) 晶片 | 个 |
52920-16 | 硬质阳极氧化铝晶圆吸头,最大 6" (150mm) 晶片 | 个 |
52920-18 | 硬质阳极氧化铝晶圆吸头,最大 8" (200mm) 晶片 | 个 |
产品编号 | 描述 | 单位 |
---|---|---|
52920 | 用于 Porta-Wand ®的进气过滤器 | 5/包 |