可拾取4、6、8或12英寸晶圆、太阳能电池、磁盘介质或平坦、坚硬的表面物品。
Porta-Vac II 晶圆吸笔配有一个ESD防静电晶圆吸头。最大能吸起500克的物品。包括一节一次性9V电池。
吸笔由简单的开/关控制。当电池需要更换或充电时,电池低电量指示灯会闪烁红色。工具底部的开关设置允许选择碱性电池或镍氢电池的放电特性来显示电池电量不足。
一个可更换的内部空气过滤器装在工具的前面。1级排气过滤器确保设备清洁运行。泵空气的后部排气是标准的。还可以选择可充电的电池组和110-220V的支架式充电器。
电池类型/续航时间:
9.6v镍氢电池 / 3 到 4 小时
9v碱性电池 / 12 到 15 小时
9v碳电池 / 4 到 5 小时
9v锂电池 / 36 到 40 小时
真空度:根据海拔高度和大气压力,最低15至20英寸汞柱。
产品编号 | 描述 | 单位 |
---|---|---|
52905 | Porta-Vac II 带ESD防静电扁平晶圆吸头,可用于最大 4" (100mm) 晶圆、不可充电电池 | 套 |
52906 | Porta-Vac II 带ESD防静电扁平晶圆吸头,可用于最大 6" (150mm) 晶圆、不可充电电池 | 套 |
52907 | Porta-Vac II ESD防静电扁平晶圆吸头,可用于最大 8" (200mm) 晶圆,不可充电电池 | 套 |
52908 | Porta-Vac II立式充电器,带 9.6 伏可充电镍氢电池,110-220V | 套 |
52010 | 9.6 伏可充电镍氢电池 | 套 |
52920-29 | 用于 Porta-Wand ®的进气过滤器 | 5/包 |
配件:
晶圆吸头
产品编号 | 描述 | 单位 |
---|---|---|
52920-4 | 扁平晶圆吸头,用于 4"晶圆 | 个 |
52920-6 | 扁平晶圆吸头,用于 6"晶圆 | 个 |
52920-8 | 扁平晶圆吸头,用于 8"晶圆 | 个 |
52920-12 | 扁平晶圆吸头,用于处理较大尺寸的晶圆(无左角或右角可用) | 个 |
硬质阳极氧化铝晶圆吸头
产品# | 描述 | 单位 |
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52920-14 | 硬质阳极氧化铝晶圆吸头,最大 4" (100mm) 晶片 | 个 |
52920-16 | 硬质阳极氧化铝晶圆吸头,最大 6" (150mm) 晶片 | 个 |
52920-18 | 硬质阳极氧化铝晶圆吸头,最大 8" (200mm) 晶片 | 个 |
产品编号 | 描述 | 单位 |
---|---|---|
52920-29 | 用于Porta-VacII ®的进气过滤器 | 5/包 |