LatticeAx采用了容易控制的“解理切割”,使得切割过程更为精准,减少了切割误差。它不需要划线,是在晶圆表面用金刚石压头压一条长度小于1mm、宽度约10um的浅压痕,然后沿着压痕进行解理,这样不仅可以最大程度地保存样品的原始结构,还可以避免晶圆在切割过程中产生的不必要损伤。采用晶面解理方式,能够得到更为理想的切口,断面更光滑,有利于后续的观察和使用。
其成像组件包括聚焦支架、带偏光镜的数码显微镜,以及实时图像采集和显示软件。通过实时成像,可以使用户轻松实现压痕精准定位,让所有经过培训的用户都可以轻松快速地完成划片工作。LatticeAx 225可适用于各种尺寸、厚度和不同材料类型的样品。
产品特点:
划片精度±20微米
坚固的工作站平台,专为划片和裂片而设计
带有实时数字成像接口的USB2数字显微镜(不包括电脑和显示器)
显微镜支架,带精细聚焦控制
带气动阀门开关的真空泵,用于固定样品
以较低的成本解决了样品制备工具的瓶颈
满足多种材料和尺寸大小不同样品的划片
简单易用、机器小巧