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晶圆划片裂片用品

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PELCO®LatticeAx®225晶圆精密划片裂片切割机

时间:2022-07-27

型号:LatticeAx®225

品牌:Ted Pella

价格:面议

PELCO® LatticeAx® 225精密晶圆划片裂片切割机,原为LatticeGear™的产品,是LatticeAx® 120的升级版,它增加了高倍数成像功能的设备,使得压头定位更精准,从而提升划片的精度。适用于实验室的精密化工作。

PELCO® LatticeAx 225可以提供20μm的定位精度,经过培训的使用者可以在大约5分钟内完成高质量的晶圆划片,可处理各种尺寸、厚度的样品和多种材料类型。它具备了手工切割的基本元素,同时解决了手工切割的精准性不高、可重复性差等缺点。

LatticeAx采用了容易控制的“解理切割”,使得切割过程更为精准,减少了切割误差。它不需要划线,是在晶圆表面用金刚石压头压一条长度小于1mm、宽度约10um的浅压痕,然后沿着压痕进行解理,这样不仅可以最大程度地保存样品的原始结构,还可以避免晶圆在切割过程中产生的不必要损伤。采用晶面解理方式,能够得到更为理想的切口,断面更光滑,有利于后续的观察和使用。

其成像组件包括聚焦支架、带偏光镜的数码显微镜,以及实时图像采集和显示软件。通过实时成像,可以使用户轻松实现压痕精准定位,让所有经过培训的用户都可以轻松快速地完成划片工作。LatticeAx 225可适用于各种尺寸、厚度和不同材料类型的样品。

产品特点:

  • 划片精度±20微米

  • 坚固的工作站平台,专为划片和裂片而设计

  • 带有实时数字成像接口的USB2数字显微镜(不包括电脑和显示器)

  • 显微镜支架,带精细聚焦控制

  • 带气动阀门开关的真空泵,用于固定样品

  • 以较低的成本解决了样品制备工具的瓶颈

  • 满足多种材料和尺寸大小不同样品的划片

  •  简单易用、机器小巧

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