1. 载网的用途
・将样品直接支撑在载网表面 ⇒ 主要应用于超薄切片样品和薄膜样品。
・将各种样品支持膜贴在载网表面,将样品支撑在上面(普通支持膜) ⇒ 主要适用于粉末、微粒、超薄切片和薄膜样品。
・在载网表面贴附微栅膜,将样品支撑在上面(微栅支持膜) ⇒ 主要适用于微粒、针状样品、板状样品、超薄切片和薄膜样品。
・在载网表面贴上微栅膜,然后在上面贴一层较薄的支撑膜,将样品支撑在上面(超薄碳膜) ⇒ 主要适用于微粒和微晶样品。
2. 载网尺寸
・通用标准=1/8英寸=3.18mm
・3.0mmΦ载网⇒市面上最常用的载网尺寸。
・2.3mmΦ ⇒ 部分高分辨率小孔径极片才会用到。
3. 载网厚度
·载网的厚度并非全部相同,根据材料和孔的大小,在5~50μm左右的范围内形成适当的厚度。
4. 孔形状
・有正方形、六角形、圆形、椭圆形、长方形等各种形状的。
5. 可观察范围
・在标准样品架中放置 3mmΦ 载网时,TEM 可观察区域通常在载网中心约 2mmΦ。
6.载网材料
・Cu、Mo、Ti、Ni、Al、Au、SUS、尼龙等各种材料的载网。
7. 典型的金属载网制造方法
载网厚度 (μm) | 材料 | 孔形 | 开口率 | 表面 平整度 | 支持膜的附着难易度 | 易于处理 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
单面蚀刻法 | 5 到 40 | 铜、镍、钛、钼 | 圆孔 加工精度 差 | 低 | 孔边无凹凸,表面平整度好。 | 因为表面是平坦的,所以很容易将支持膜平滑地覆盖在网格的整个表面上。 | 易于处理,因为它坚硬且不易变形 |
双面蚀刻法 (正反不平) | 5 到 30 | 铜、镍、钛、钼 | 方孔 六角孔 加工精度 略好 | 中 | 孔的边缘有轻微的凹凸,表面的平整度有些差。 | 由于表面的轻微凹凸和载网厚度,在整个表面上平滑地覆盖支持膜有些困难。 | 难以处理,因为它柔软且容易变形 |
双面蚀刻法 (两面均匀) | 5 到 30 | 铜、镍、钛、钼 | 方孔 六角孔 加工精度 好 | 中 | 孔边台阶大,表面平整度差 | 表面(孔的边缘)有轻微的凹凸,很难在整个表面上平滑地覆盖支持膜。 | 难以处理,因为它柔软且容易变形 |
电铸法 (电镀法) | 3 到 15 | 铜、金、铝、镍、铂 | 方孔 六角孔 加工精度 非常好 | 高 | 孔边轻微下垂,表面平整度差 | 由于表面的轻微凹凸和载网厚度,难以将支持膜平滑地覆盖在整个表面上。 | 难以处理,因为它柔软且容易变形 |
网格材料 | 厚度 (注1) | 孔径 (注2) | 开口率 (注3) | 评论 | |
---|---|---|---|---|---|
用于高分辨率观察 | 铜、钼 | 厚,中 | 小 | 中、低 | 选择不易受支撑膜漂移影响的载网。 |
一般观察 | 铜 | 中 | 中 | 中 | 根据观察倍率选择易于使用的载网。 |
用于大视野观察 | 铜 | 中 | 大 | 超高,高 | 选择具有窄横梁和大孔的高开放区域载网。 |
用于试样倾斜观察 | 铜 | 薄 | 大、中 | 超高,高 | 选择一个带有垂直于倾斜轴的长矩形孔的载网。 |
用于元素分析 | 铜、钼、镍、铝、钛、金、铂 | 薄 | 大的 | 高、中 | 选择由要分析的元素以外的材料制成的载网。 |
用于样品加热 | 钼,铂 | 中 | 中 | 中 | 选择由高耐热材料制成的载网。 |
用于样品冷却 | 铜、金、铝 | 中 | 中 | 中 | 选择由具有良好导热性的材料制成的载网。 |
(注1)厚度:厚:30μm以上,中:15-30μm,薄:3-15μm
(注2)孔径:大:100μmΦ或更大,中:50-100μmΦ,小:20~50μmΦ
(注3)开口率指标:超高:80%以上,高:60%以上,中:40~60%,低:40%以下