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TEM载网常识

发布日期:2022年09月26日    浏览次数:763

1. 载网的用途
 ・将样品直接支撑在载网表面 ⇒ 主要应用于超薄切片样品和薄膜样品。
 ・将各种样品支持膜贴在载网表面,将样品支撑在上面(普通支持膜) ⇒ 主要适用于粉末、微粒、超薄切片和薄膜样品。
 ・在载网表面贴附微栅膜,将样品支撑在上面(微栅支持膜) ⇒ 主要适用于微粒、针状样品、板状样品、超薄切片和薄膜样品。
 ・在载网表面贴上微栅膜,然后在上面贴一层较薄的支撑膜,将样品支撑在上面(超薄碳膜) ⇒ 主要适用于微粒和微晶样品。

2. 载网尺寸
 ・通用标准=1/8英寸=3.18mm
 ・3.0mmΦ载网⇒市面上最常用的载网尺寸。
 ・2.3mmΦ ⇒ 部分高分辨率小孔径极片才会用到。

3. 载网厚度
 ·载网的厚度并非全部相同,根据材料和孔的大小,在5~50μm左右的范围内形成适当的厚度。

4. 孔形状
 ・有正方形、六角形、圆形、椭圆形、长方形等各种形状的。

5. 可观察范围
 ・在标准样品架中放置 3mmΦ 载网时,TEM 可观察区域通常在载网中心约 2mmΦ。

6.载网材料
 ・Cu、Mo、Ti、Ni、Al、Au、SUS、尼龙等各种材料的载网。

7. 典型的金属载网制造方法


 载网厚度
(μm)
材料孔形开口率表面
平整度

支持膜的附着难易度

易于处理

单面蚀刻法

5 到 40铜、镍、钛、钼圆孔

加工精度
孔边无凹凸,表面平整度好。因为表面是平坦的,所以很容易将支持膜平滑地覆盖在网格的整个表面上。易于处理,因为它坚硬且不易变形
双面蚀刻法
(正反不平)
5 到 30铜、镍、钛、钼方孔
六角孔

加工精度
略好
孔的边缘有轻微的凹凸,表面的平整度有些差。由于表面的轻微凹凸和载网厚度,在整个表面上平滑地覆盖支持膜有些困难。难以处理,因为它柔软且容易变形
双面蚀刻法
(两面均匀)
5 到 30铜、镍、钛、钼方孔
六角孔

加工精度
孔边台阶大,表面平整度差表面(孔的边缘)有轻微的凹凸,很难在整个表面上平滑地覆盖支持膜难以处理,因为它柔软且容易变形
电铸法
(电镀法)
3 到 15铜、金、铝、镍、铂方孔
六角孔

加工精度
非常好
孔边轻微下垂,表面平整度差由于表面的轻微凹凸和载网厚度,难以将支持膜平滑地覆盖在整个表面上。难以处理,因为它柔软且容易变形


 网格材料厚度
(注1)
孔径
(注2)
开口率
(注3)
评论
用于高分辨率观察铜、钼厚,中中、低选择不易受支撑膜漂移影响的载网
一般观察根据观察倍率选择易于使用的载网
用于大视野观察超高,高选择具有窄横梁和大孔的高开放区域载网。
用于试样倾斜观察大、中超高,高选择一个带有垂直于倾斜轴的长矩形孔的载网
用于元素分析铜、钼、镍、铝、钛、金、铂大的高、中选择由要分析的元素以外的材料制成的载网
用于样品加热钼,铂选择由高耐热材料制成的载网
用于样品冷却铜、金、铝选择由具有良好导热性的材料制成的载网

   (注1)厚度:厚:30μm以上,中:15-30μm,薄:3-15μm
   (注2)孔径:大:100μmΦ或更大,中:50-100μmΦ,小:20~50μmΦ
   (注3)开口率指标:超高:80%以上,高:60%以上,中:40~60%,低:40%以下