Pelcotec™ CDMS-XY 标样是一种用于扫描电镜、场发射扫描电镜、离子束雕刻、CD-SEM、激光扫描显微镜和原子力显微镜快速、精确校准的便捷工具。该标样提供了 X 和 Y 两个坐标轴的比例尺线，可在不旋转样品台的情况下轻松进行二维校准。
Pelcotec™ CDMS 校准标样是在超平硅基底上制造的，对 5 微米以下的特征进行了 50 纳米铬的精确沉积，对 2 微米至 100 纳米的特征进行了 50 纳米金和 20 纳米铬的组合沉积。硅基上的铬和金/铬在 SE 和 BSE 成像模式下都能提供出色的对比度。与蚀刻硅标准相比，特征更容易确定。由于硅基底、铬和铬/金特征都是导电的，因此该标样不存在充电问题。CDMS 标样结构坚固，可使用低功率等离子清洗器进行清洗。
该标样有两种特征尺寸范围可选，分别是 Pelcotec™ CDMS-XY-1T 和 Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T，每个尺寸范围都提供可追溯和认证标样，总共有四种：
Pelcotec™ CDMS-XY-1T：特征尺寸范围为 2.0mm 到 1um，适用于放大倍率在 10x - 20,000x 之间的台式扫描电镜和低到中等放大应用。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 684-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-1T，2mm - 1µm，可追溯，没有样品座，金属沉积线 | 个 |
| 701-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-1T，2mm - 1µm，可追溯，没有样品座，硅蚀刻线 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-XY-1C：每个标样均根据 NIST 标准进行了单独认证，特征尺寸范围为 2.0mm 到 1µm，适用于放大倍率在 10x - 20,000x 之间的台式扫描电镜和低到中等放大应用。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 689-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-1C，2mm - 1µm，已认证，没有样品座，金属沉积线 | 个 |
| 705-1 | Pelcotec™ CDMS-XY-1C，2mm - 1µm，已认证，没有样品座，硅蚀刻线 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T：特征尺寸范围为 2.0mm 到 100nm，适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用，放大倍率可达 10 - 200,000x。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 685-01 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T，2mm - 100nm，可溯源，没有样品座，金属沉积线 | 个 |
| 702-01 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T，2mm - 100nm，可溯源，没有样品座，硅蚀刻线 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1C：每个标样均根据 NIST 标准进行了单独认证，特征尺寸范围为 2.0mm 到 100nm，适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用，放大倍率可达 10 - 200,000x。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 690-01 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1C，2mm - 100nm，已认证，没有样品座，金属沉积线 | 个 |
| 706-01 | Pelcotec™ CDMS-XY-0.1C，2mm - 100nm，已认证，没有样品座，硅蚀刻线 | 个 |
该标样的特征尺寸范围见下表：
Pelcotec™ CDMS-XY-1T 和 -1C 的特征尺寸为：
2mm、1mm、0.5mm、0.1mm、50µm、10µm、5µm、2µm 和 1µm。
Pelcotec™ CDMS-XY-0.1T 和 0.1C 的特征尺寸为：
2mm、1mm、0.5mm、0.1mm、50µm、10µm、5µm、2µm 和 1µm、500nm、250nm 和 100nm。
可选的样品座。
| 类型 | 货号 | （D=直径；P=钉腿直径；PL=钉腿（长度） | |
| A | 16111 |  | 钉形样品台：D=12.7mm；P=3.2mm；PL= 7.9mm, FEI/Philips, Cambridge, Leica, TESCAN, CAMSCAN, ASPEX, Phenom |
| B | 16261 |  | 钉形样品台：D=12.7mm；P=3.2mm；PL=14.3mm, AMRAY |
| C | 16221 |  | 直径 9.5 毫米 x 9.5mm 圆柱形，JEOL |
| D | 16281 |  | 直径 15 毫米 x 15mm 圆柱形，JEOL，ISI/ABT/TOPCON |
| E | 16291 |  | 直径 15 毫米 x 10mm 圆柱形，JEOL，ISI/ABT/TOPCON |
| F | 16111-9 |  | 钉形样品台：12.7mm x 3.2mm 钉腿。PL=6mm, ZEISS/LEO SEMS FESEMs/FIBS |
| K | 16324 |  | 直径 15 毫米 x 6mm 圆柱，M4 Hitachi，Agilent / Keysight |
| L | 16327 |  | 直径 25 毫米 x 6mm 圆柱，M4 Hitachi，Agilent / Keysight |
| M | 16231 |  | 直径 12.2 毫米 x 10mm 圆柱，Hitachi |
| O | 16115 |  | 直径 31.7 毫米 x 6.47 毫米，Cambridge S4 支架 |
| P | 16242 |  | 钉形样品台：直径 12.7 毫米x 15.7mm 高度，AMRAY 专用开槽头 |
| Q | 16153 |  | 直径 25 毫米 x 10mm 圆柱，JEOL |
| R | 16144 |  | 钉形样品台：D=25.4mm；pin=3.2mm, FEI/Philips, Cambridge, Leica, TESCAN, CAMSCAN, ASPEX, Phenom |
| Pelcotec™ CDMS-1 | Pelcotec™ CDMS-0.1 | |
| 基底：硅 | ✓ | ✓ |
| 基底尺寸：2.5×2.5mm | ✓ | ✓ |
| 基底厚度：525±10μm | ✓ | ✓ |
| 唯一序列识别号 | ✓ | ✓ |
| 2mm、1mm、0.5mm、0.25mm 的校准方块 | ✓ | ✓ |
| 垂直于 X 轴的刻度线，间距为 10μm、5μm、2μm 和 1μm | ✓ | ✓ |
| 仅高分辨率版本 - 垂直于 X 轴的附加刻度线以 500、250 和 100 nm 节距标出 | — | ✓ |
| 特征材料：50nm Cr (2mm - 5µm) | ✓ | ✓ |
| 特征材料：20nm Cr/50nm Au（2μm 和 1μm） | ✓ | ✓ |
| 特征材料：20nm Cr/50nm Au（500、250 和 100nm） | — | ✓ |
| 可在晶圆级追溯到 NIST | T 版本 | T 版本 |
| CDMS 标样直接获得 NIST 标准认证 | C版本 | C版本 |
| 不含样品台 | ✓ | ✓ |
| 可安装在 SEM样品台上 | ✓ | ✓ |
| 精度优于0.3% | ✓ | ✓ |
黄小姐（设备）