Pelcotec线宽标样CDMS 特征尺寸放大标样

Pelcotec™ CDMS 校准标样是一种独特的经济实惠、功能齐全、可追溯的校准标样，可用于快速精准的扫描电镜(SEM)、场发射扫描电镜(FESEM)、离子束刻蚀(FIB)、CD-SEM、LM和AFM放大倍数校准。这些标样采用最新的半导体和微机电系统(MEMS)制造技术制成，可以覆盖广泛的测量范围。

Pelcotec™ CDMS 校准标样是在超平硅基底上沉积制造的，对 5 微米以下的特征进行了 50 纳米铬的精确沉积，对 2 微米至 100 纳米的特征进行了 50 纳米金和 20 纳米铬的组合沉积。硅基上的铬和金/铬在 SE 和 BSE 成像模式下都能提供出色的对比度。与蚀刻硅标准相比，特征更容易确定。由于硅基底、铬和铬/金特征都是导电的，因此该标样不存在充电问题。CDMS 标样结构坚固，可使用低功率等离子清洗器进行清洗。

Pelcotec™ CDMS 校准标样有两种特征尺寸范围，分别是 Pelcotec™ CDMS-1T 和 Pelcotec™ CDMS-0.1T，都提供可追溯和认证标样，共有4个种：

Pelcotec™ CDMS-1T: 可追溯，特征尺寸范围为2.0毫米到1微米，放大倍数范围为10倍到20,000倍，非常适合台式扫描电镜和低到中等放大应用。

Pelcotec™ CDMS-1C: 经过NIST标样认证的特征尺寸范围为2.0毫米到1微米，放大倍数范围为10倍到20,000倍，非常适合台式扫描电镜和低到中等放大应用。

Pelcotec™ CDMS-0.1T: 可追溯，特征尺寸范围为2.0毫米到100纳米，放大倍数范围高达10倍到200,000倍，适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用。

Pelcotec™ CDMS-0.1C: 经过NIST标样认证的特征尺寸范围为2.0毫米到100纳米，放大倍数范围高达10倍到200,000倍，适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用。

Pelcotec™ CDMS 标样的特征尺寸范围为2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10µm、5µm、2µm和1µm（适用于 Pelcotec™ CDMS-1T 和 Pelcotec™ CDMS-1C）。而Pelcotec™ CDMS-0.1T 和 0.1C 的特征尺寸范围为2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10µm、5µm、2µm、1µm、500nm、250nm和100nm。

Pelcotec™ CDMS 标样采用超平整的硅衬底制成，采用精密的50nm铬沉积技术制造特征尺寸小于5µm的部分，而采用50nm金/20nm铬的组合制造2µm到100nm的特征尺寸。铬和金/铬在硅基底上提供了卓越的SE和BSE成像模式对比度，比刻蚀硅标样更易于确定特征。由于硅衬底、铬和铬/金特征都具有导电性，因此该校准标样不存在充电问题。由于其坚固的结构，CDMS标样可使用等离子体清洗器进行清洁。

较小的特征尺寸被嵌套在一起，以便于导航和快速校准。特征的精度为0.3%或更高。标样的实际尺寸为2.5 x 2.5mm，厚度为525µm ±10µm，在硅表面上没有涂层。每个Pelcotec™ CDMS校准标样都有一个独特的识别编号。

Pelcotec™ CDMS校准标样可供选择不安装或安装在SEM样品台A-R上。对于AFM应用，Pelcotec™ CDMS安装在12mm的AFM圆片上，而对于LM应用，则安装在25 x 75mm的载玻片上。也可以制备在自定义的支架上。

类型	货号		（D=直径；P=钉腿直径；PL=钉腿（长度）
A	16111		钉形样品台：D=12.7mm；P=3.2mm；PL= 7.9mm, FEI/Philips, Cambridge, Leica, TESCAN, CAMSCAN, ASPEX, Phenom
B	16261		钉形样品台：D=12.7mm；P=3.2mm；PL=14.3mm, AMRAY
C	16221		直径 9.5 毫米 x 9.5mm 圆柱形，JEOL
D	16281		直径 15 毫米 x 15mm 圆柱形，JEOL，ISI/ABT/TOPCON
E	16291		直径 15 毫米 x 10mm 圆柱形，JEOL，ISI/ABT/TOPCON
F	16111-9		钉形样品台：12.7mm x 3.2mm 钉腿。PL=6mm, ZEISS/LEO SEMS FESEMs/FIBS
K	16324		直径 15 毫米 x 6mm 圆柱，M4 Hitachi，Agilent / Keysight
L	16327		直径 25 毫米 x 6mm 圆柱，M4 Hitachi，Agilent / Keysight
M	16231		直径 12.2 毫米 x 10mm 圆柱，Hitachi
O	16115		直径 31.7 毫米 x 6.47 毫米，Cambridge S4 支架
P	16242		钉形样品台：直径 12.7 毫米x 15.7mm 高度，AMRAY 专用开槽头
Q	16153		直径 25 毫米 x 10mm 圆柱，JEOL
R	16144		钉形样品台：D=25.4mm；pin=3.2mm, FEI/Philips, Cambridge, Leica, TESCAN, CAMSCAN, ASPEX, Phenom