SEM多功能标样

集合了分辨率、放大倍数校准和 EDS 能谱标样的多功能标样。

该产品包含有五个标样，这些标样被安装在尺寸为:直径25mm,高5mm的，圆柱形M4螺纹样品台上，同时为他们分别雕刻了标识以方便用户识别。样品台配备了可拆迁的钉腿，使得该产品可以在日立，日本电子和使用钉形样品台的SEM电镜上使用。

包含的标样有：

2个SEM分辨率测试标样：

1. 货号为600的锡球标样，该标样用于低分辨率，粒径范围为1-10µm。放大范围约为250 x-5000x.

2. 货号为617的金颗粒标样，适用中高分辨率，粒径范围约为5nm至150nm。

1个放大倍数标样：

货号为684-1的线宽标样，CDMS-XY-1T 特征尺寸放大标样，特征尺寸范围为 2.0mm 到 1um，适用于放大倍率在 10x - 20,000x 之间的台式扫描电镜和低到中等放大应用。

两个EDS能谱标样

1. 锰含量为 88%，镍含量为 12% 的合金，用于测量探测器分辨率的半高全宽（FWHM）

2. 用于光谱校准的PELCO® 400目铜网