Pelcotec SFG12网格坐标基底

Pelcotec SFG12网格坐标基底是一种扁平的导电硅基片，尺寸为12.5 x 12.5毫米。它表面被着1 x 1mm的栅格覆盖，总共有12x12=144个分区。每个分区都有一个由字母+数字组成的标志。线条和标志都是在硅表面精确激光蚀刻的。它是平坦的样本基底和SEM坐标载网的最佳组合。

这种独特的创新产品与雕刻着分区坐标的SEM样品台有一些相似之处，但它有一些额外的优势。

平坦 - 没有像铜质探针载网那样的高度差异

大面积的精细图案--比雕刻的SEM样品台更实用

低背景信号--与Si芯片基质相同

对于EDX分析，只有一个元素（Si）来自取样器基底

实用且易于操作，有144个1毫米间距的区域

用肉眼、制备显微镜和SEM可以看到图案

在（非常）低的放大率下提供近似的尺寸

可以很容易地安装在SEM样品台上--与大多数通用的样品台尺寸兼容

可在SEM、FIB、XPS/ESCA、Auger和LM中使用

使用的硅基片规格：优质原生硅片，掺P硼，<100>方向，电阻率为0.5-35欧姆/厘米，厚度645微米±55微米。